High purity filtering in ALD en CVD processen

Testen met 4 precursors valideren 1.5 nm poreus metaal filters

Naarmate de halfgeleiderindustrie zich ontwikkelt richting sub-10 nm lijnbreedtes (zoals 7nm, 5nm en kleiner), zullen nanodeeltjes, eens als hinderlijke deeltjes beschouwd, nu worden geclassificeerd als blokkerend. Met name in ALD- en CVD-processen is de noodzaak om nieuwe ultra zuivere gasfiltratietechnologie te ontwikkelen van cruciaal belang geworden. Op deze schaal moeten de filtratiemogelijkheden worden geverifieerd. We willen graag wat specifieke informatie met u delen over de verschillende halfgeleider productieomgevingen waarin deze MOTT-filters zich hebben bewezen, wat resulteert in minder fouten en minder downtime.

Filteren van organisch metallische precursoren met een hoge zuiverheidsgraad.

Mott High Purity Filters bieden 9-log filtratie van deeltjes tot 1,5 nm, wat resulteert in deeltjesvrij gas. Deze filters zijn specifiek ontworpen voor filtratie in geavanceerde depositieprocessen (ALD, CVD). MOTT’s FLP-model is specifiek geschikt voor filtratie van gassen met lage dampspanning, gegenereerd in een direct vloeistofinjectiesysteem, waarbij het proces gebruik maakt van een verdampingskamer.
Ze zijn bij uitstek geschikt voor de behandeling van lagedruk- of organometaaldamp in de dampfase, zoals TEMAZ, TEOS, TiCl4, TDMAT, TEPO, TEB, POCl, Z4MS, Ztomcats, Trans-LC en TMB.

Stroomopwaarts van het FLP filter

Stroomafwaarts van het FLP filter

Poreus metaal fiber filter

Intermoleculaire aantrekkingskrachten doen de truc

De 1,5nm filtercapaciteit wordt bereikt met behulp van een unieke metaalvezelfiltertechniek. Een algemene misvatting bij gasfiltratie is dat alleen grotere deeltjes worden opgevangen door middel van zeven, terwijl kleinere deeltjes door het filter gaan. Een metaalvezelfilter gebruikt de diepte van het filter om zelfs de kleinste deeltjesgrootte op te vangen. Dit proces is afhankelijk van de deeltjeshechting op basis van intermoleculaire aantrekkingskracht door Van der Waals en elektrostatische krachten.

Metaal fiber filter eigenschappen:

De metaalvezeltechniek combineert de beste voordelen van gesinterde metaalfilters en teflonfilters:

1.5 nm deeltjesretentie
Lage drukval
Lage dichtheid met meer open structuur met hydrofobe eigenschappen
Lage drukverschilvariabiliteit van onderdeel tot onderdeel maakt een goede systeemcontrole mogelijk
Geschikt voor hoge temperaturen: 450°C
Hoog drukverschil 500 psid

Meer informatie?

Meer informatie over onze producten of op zoek naar een oplossing op maat? Neem contact op met onze sales engineers.

NL: +31 70 413 07 00
CN: +86-(0)10-60576210
USA: +(1) 973 383 0691
TW: +886-(0)3-5600560

Of gebruik ons contact formulier

Heeft u al contact met een sales engineer? Neem rechtstreeks contact op:

Vind uw sales engineer